产 品 说 明

产品介绍：

激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。广泛应用于精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测。

主要特点：

1. 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角

2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米

4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性

5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架

6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间。

功能特点：

1、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。

2、激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。

3、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。

4、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。

5、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。

6、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。

7、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。

8、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。

9、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。

10、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。

技术参数：

5D/6D标准型：

1. 线性：0.5ppm .

2. 测量范围：40米（1D可选80米）

3. 线性分辨力：0.001um.

4. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值

5. 最大范围：800角秒

6. 滚动角精度：1.0角秒

7. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值

8. 直线度最大范围：500um

9. 垂直度精度：1角秒

10. 温度精度：0.2摄氏度

11.湿度精度：5%

12.压力精度：1mmHg